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恩佐娱乐芯片生产线的废水处理方法

2020-11-20 05:13

  [0001]本发现涉及废水管制的技能范畴,越发涉及一种芯片临盆线的废水管制法子。

  [0002]正在半导体筑制技能中,通过一系列的光刻、刻蚀、浸积、离子注入、研磨、洗涤等工艺酿成具有百般成效的半导体芯片,然后将所述半导体芯片举行封装和电性测试,并最终酿成终端产物。目前,正在半导体芯片的筑制经过中,会发生多量的工业废水。

  [0003]正在现有的废水管制经过中,平常独自应用序列间歇式活性污泥法(SBR)或生物接触氧化法或曝气生物滤池(BAF),均只可对废水举行简单的管制,比如为过滤或微生物反映或去除毒性等,因为管制格式过于简单,这经常导致过滤物质很速阻塞的题目。于是,废水管制仍有改正的空间。

  [0004]本发现的合键目标正在于供给一种芯片临盆线的废水管制法子,以处置现有技能存正在的管制格式过于简单,这经常导致过滤物质很速阻塞的题目。

  [0005]为处置上述题目,本发现践诺例供给一种芯片临盆线的废水管制法子,蕴涵如下环节:吸取来自于芯片临盆线的废水,所述废水中包括纳米级悬浮颗粒物;对所述废水举行医治曝气搀杂管制,以调匀废水的PH值;对所述废水举行好氧管制,以正在废水中培植微生物及活性污泥和曝气管制,以填充废水中的溶氧量;正在废水中插手悬浮物污泥物质,以吸附废水中的纳米级颗粒物,酿成微米级以上的悬浮颗粒物;对所述废水举行膜生物反映器管制,以去除废水中的悬浮颗粒物。

  [0008]个中,所述废水中插手悬浮物污泥物质的环节之落伍一步蕴涵:检测所述悬浮物污泥物质的浓度;若所述悬浮物污泥物质的浓度越过预设浓度,对所述悬浮物污泥物质举行排放。

  [0010]个中,所述废水中插手悬浮物污泥物质的环节之进取一步蕴涵:正在废水中插手PH值医治物质,以使得所述废水的PH值呈弱酸性、中性或弱碱性;对废水举行过滤,以滤除废水中的颗粒物体。

  [0012]个中,所述对废水举行过滤采用过滤器,个中所述过滤器的目数为60-100目。

  [0013]个中,所述对所述废水举行膜生物反映器管制的环节之落伍一步蕴涵:正在通过膜生物反映器管制的废水中插手细菌抵制剂,以抵制废水中的细菌生息。

  [0016]个中,所述废水管制法子进一步蕴涵:对所述膜生物反映器轮廓举行气氛冲洗。

  [0017]凭据本发现的技能计划,通过对所述废水举行医治曝气搀杂管制、好氧管制和曝气管制以及膜生物反映器管制,并于膜生物反映器管制前,插手悬浮物污泥物质。如许一来,可到达水资源的接管再运用的成就,并可避免膜生物反映器阻塞的境况产生。

  [0018]此地点注脚的附图用来供给对本发现的进一步明白,组成本申请的一局部,本发现的示意性践诺例及其注脚用于注释本发现,并不组成对本发现的不政府限。正在附图中:

  [0019]图1是凭据本发现第一践诺例的芯片临盆线的废水管制法子的流程图;

  [0020]图2是凭据本发现第二践诺例的芯片临盆线的废水管制法子的流程图;

  [0021]图3是凭据本发现第三践诺例的芯片临盆线的废水管制法子的流程图;

  [0022]图4是凭据本发现第四践诺例的芯片临盆线的废水管制体例的示企图;

  [0023]图5是凭据本发现第五践诺例的芯片临盆线的废水管制体例的示企图;

  [0024]图6是凭据本发现第六践诺例的芯片临盆线的废水管制体例的示企图。

  [0025]本发现的合键思念正在于,基于通过对所述废水举行医治曝气搀杂管制、好氧管制和曝气管制以及膜生物反映器管制,并于膜生物反映器管制前,插手悬浮物污泥物质。如许一来,可到达水资源的接管再运用的成就,并可避免膜生物反映器阻塞的境况产生。

  [0026]为使本发现的目标、技能计划和益处特别通晓,以下联合附图及的确践诺例,对本发现作进一步地具体注脚。

  [0027]凭据本发现的践诺例,供给了一种芯片临盆线是凭据本发现第一践诺例的芯片临盆线的废水管制法子的流程图。

  [0029]正在环节S102中,吸取来自于芯片临盆线的废水,恩佐娱乐所述废水中包括纳米级悬浮颗粒物。所述纳米级悬浮颗粒物比如为二氧化硅、硅粉、金属物质等。

  [0030]正在环节S104中,对所述废水举行医治曝气搀杂管制,以调匀废水的PH值。也即是说,可将废水引入曝气医治池中,并医治、曝气及搀杂使废水到达酸碱中和,以调匀废水的PH值,可利于后续的微生物及活性污泥的培植。

  [0031]正在环节S106中,对所述废水举行好氧管制,以正在废水中培植微生物及活性污泥和曝气管制,以填充废水中的溶氧量。也即是说,将曝气医治后的废水引入好氧池中,并通过好氧池中的好氧性微生物与废水邻接触,可利于正在废水中培植微生物及活性污泥,且通过胀风机供给适宜的空胸襟,以填充废水中的溶氧量。个中,所述溶氧量可为1-2PPM。

  [0032]正在环节S108中,正在废水中插手悬浮物污泥物质,以吸附废水中的纳米级颗粒物,酿成微米级以上的悬浮颗粒物。因为芯片临盆线所排出的废水的悬浮颗粒物(SS)会含有相当微小的颗粒和金属离子(比如SS〈30),假使直接对所述废水举行膜生物反映器(MBR)管制,会使得膜生物反映器容易阻塞。于是,通过增加悬浮物污泥物质,能够让大颗粒的悬浮物污泥物质吸附废水中的微小颗粒的悬浮颗粒物,使得膜生物反映器不会阻塞。个中,悬浮物污泥物质的浓度比如为500-1200PPM。较佳地,悬浮物污泥物质的浓度可为800-1000PPM,以促进悬浮物污泥物质吸附废水中的微小颗粒的悬浮颗粒物的成就。而且,悬浮物污泥物质可为污水活性污泥。

  [0033]正在环节SllO中,对所述废水举行膜生物反映器管制,以去除废水中的悬浮颗粒物。也即是说,对废水中的活性污泥和大分子物质举行拘押的管制以有用去除废水中的化学需氧量(COD)以及悬浮颗粒物(SS)等。个中,膜生物反映器管制可蕴涵中空纤维膜,且中空纤维膜的原料可为聚偏氟乙烯(PVDF)、聚乙烯(PE)或其复合原料。

  [0034]芯片临盆经过中会发生多量的纳米级相当轻微的悬浮颗粒物,比如二氧化硅、硅粉、金属物质等,这些纳米级的悬浮颗粒物质会一概进入废水中。因为这种含有多量纳米级的悬浮颗粒物的废水,若仅应用膜生物反映器(MBR)对废水举行管制,纳米级的渺小悬浮颗粒物极容易阻塞中空纤维膜的孔径和透过中空纤维膜,会影响产水水质,且少许纳米级的渺小颗粒会阻塞正在中空纤维膜的内部产水侧,从而使中空纤维膜彻底堵死,不行化学洗涤再生运用,导致中空纤维膜报废。于是,本践诺例采用正在膜生物反映器管制前增加悬浮物污泥物质,以吸附前述纳米级的渺小悬浮颗粒物以长大成微米级以上,从而让这些微米级以上的悬浮颗粒物不行进入中空纤维膜的孔径和内部,只阻滞正在中空纤维膜的轮廓,而不会透过中空纤维膜。然后,可进一步通过对膜生物反映器轮廓(即中空纤维膜的轮廓)举行气氛冲洗,使前述微米级以上的悬浮颗粒物浸淀正在膜生物反映器管制的膜池底部,云云确保了产水水质,且同时有用的处置中空纤维膜阻塞题目,从而回护好中空纤维膜。

  [0035]图2是凭据本发现第二践诺例的芯片临盆线的废水管制法子的流程图。

  [0036]正在环节S202中,吸取来自于芯片临盆线的废水,所述废水中包括纳米级悬浮颗粒物。正在环节S204中,对所述废水举行医治曝气搀杂管制,以调匀废水的PH值。正在环节S206中,对所述废水举行好氧管制,以正在废水中培植微生物及活性污泥和曝气管制,以填充废水中的溶氧量。正在环节S208中,正在废水中插手悬浮物污泥物质,以吸附废水中的纳米级颗粒物,酿成微米级以上的悬浮颗粒物。正在环节S214中,对所述废水举行膜生物反映器管制,以去除废水中的悬浮颗粒物。个中,图2的环节S202、S204、S206、S208、S214与图1的环节S102、S104、S106、S108、S110相仿或近似,可参考图1的践诺例的注脚,故正在此不再赘述。

  [0037]正在环节S210中,检测所述悬浮物污泥物质的浓度。因为悬浮物污泥物质的插手恐怕是多量且继续性的,而且假使悬浮物污泥物质的浓渡过高,恐怕会影响悬浮物污泥物质吸附小颗粒的悬浮颗粒物的成就,于是进一步检测悬浮物污泥物质的浓度是否越过预设浓度。个中,因为悬浮物污泥物质的浓度较佳为800-1000PPM,于是所述预设浓度可设定为ΙΟΟΟΡΡΜο

  [0038]正在环节S212中,若检测悬浮物污泥物质的浓度越过预设浓度,则对悬浮物污泥物质举行排放。也即是说,通过排放悬浮物污泥物质,以低浸悬浮物污泥物质的浓度。而且,正在排放经过中,仍会继续检测悬浮物污泥物质的浓度,假使检测悬浮物污泥物质的浓度没有越过预设浓度,则停息对悬浮物污泥物质举行排放。如许一来,使得悬浮物污泥物质的浓度可永远维持正在500-1200PPM之间,且较佳为800-1000PPM。

  [0039]图3是凭据本发现第三践诺例的芯片临盆线的废水管制法子的流程图。正在本践诺例中,环节 S302、S308、S310、S312、S314 与图1 的环节 S102、S104、S106、S108、SllO 相仿或近似,可参考图1的践诺例的注脚,故正在此不再赘述。

  [0040]正在环节S302中,吸取来自于芯片临盆线的废水,恩佐娱乐所述废水中包括纳米级悬浮颗粒物。

  [0041]正在环节S304中,正在废水中插手PH值医治物质,以使得所述废水的PH值呈弱酸性、中性或弱碱性。也即是说,通过正在废水中插手PH值医治物质,并举行充斥的搀杂后,使得废水的PH值为中性或靠拢中性,可利于微生物或细菌的成长。因为芯片临盆线所排放的废水呈酸性,于是所述PH值医治物质可蕴涵碱性物质,比如氢氧化钠(NaOH),使废水的PH值调度至6.5-8.5之间。

  [0042]正在环节S306中,对所述废水举行过滤,以滤除废水中的颗粒物体。也即是说,可采用过滤器对前述插手PH医治物质的废水举行过滤,且此过滤器的目数可为60-100目,用于将废水中的大颗粒物体滤除,比如敏锐物、毛发、碎肩等,以避免大